Intégration de transducteurs acoustiques hautes fréquences pour l’imagerie ultrasonore d’interface
Résumé
Fabrication et integration de transducteurs piézoélectriques à base de ZnO qui génèrent des ondes transversales et longitudinales à hautes fréquences (1GHz) sur substrats du silicium. -Réaliser leurs connectiques -Réaliser leurs adaptations d’impedances afin de minimiser le réfléchi électrique et ainsi améliorer leurs réponses acoustiques. -Après adaptation électrique, l’objectif principal de cette thèse est de réaliser des imageries d’interfaces mono-element à hautes fréquences.