Dry etching and process for micro transducer based on conducting interpenetrated polymer network
Mohamed Bentefrit
(1, 2)
,
Adelyne Fannir
,
Ali Maziz
(3)
,
Caroline Soyer
(1, 2)
,
Cedric Plesse
(4, 5, 6, 7)
,
Eric Cattan
(1, 2)
,
Frederic Vidal
1
IEMN -
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 MAMINA - IEMN - Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN
3 LAAS-MEMS - Équipe Microsystèmes électromécaniques
4 LPPI - Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces
5 LPPI - Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces
6 CY - CY Cergy Paris Université
7 UCP - Université de Cergy Pontoise
2 MAMINA - IEMN - Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN
3 LAAS-MEMS - Équipe Microsystèmes électromécaniques
4 LPPI - Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces
5 LPPI - Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces
6 CY - CY Cergy Paris Université
7 UCP - Université de Cergy Pontoise
Mohamed Bentefrit
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1252054
- ORCID : 0000-0003-0888-8182
Adelyne Fannir
- Fonction : Auteur
Caroline Soyer
- Fonction : Auteur
- PersonId : 748061
- IdHAL : caroline-soyer
Cedric Plesse
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170073
- IdHAL : cedric-plesse
- ORCID : 0000-0001-9227-9544
- IdRef : 08199351X
Eric Cattan
- Fonction : Auteur
- PersonId : 746767
- IdHAL : eric-cattan
- ORCID : 0000-0002-6576-5800
- IdRef : 151097542
Frederic Vidal
- Fonction : Auteur
- PersonId : 176717
- IdHAL : frederic-vidal
- ORCID : 0000-0001-9803-0918
- IdRef : 14686770X