Caractérisation d'interfaces, de fluides et détection de défauts micro/nanométriques par méthodes acoustiques hautes fréquences intégrées
Christophe Virgilio
(1, 2, 3)
,
Malika Toubal
(1, 3)
,
Pierre Campistron
(1, 2, 3)
,
V. Thomy
(3, 4)
,
Bertrand Nongaillard
(1, 2, 3)
,
Philippe Garnier
,
Lucile Broussous
,
Souad Harmand
(5)
,
Julien Carlier
(1, 2, 3)
1
IEMN-DOAE -
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520
2 MAMINA - IEMN - Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 BIOMEMS - IEMN - Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN
5 LAMIH - Laboratoire d'Automatique, de Mécanique et d'Informatique industrielles et Humaines - UMR 8201
2 MAMINA - IEMN - Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 BIOMEMS - IEMN - Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN
5 LAMIH - Laboratoire d'Automatique, de Mécanique et d'Informatique industrielles et Humaines - UMR 8201
Christophe Virgilio
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1104489
Pierre Campistron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747924
- IdHAL : pierre-campistron
- ORCID : 0000-0002-8472-6372
V. Thomy
- Fonction : Auteur
- PersonId : 743727
- IdHAL : v-thomy
- ORCID : 0000-0003-0609-4928
- IdRef : 05984776X
Bertrand Nongaillard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 748064
- IdHAL : bertrand-nongaillard
Philippe Garnier
- Fonction : Auteur
Lucile Broussous
- Fonction : Auteur
Souad Harmand
- Fonction : Auteur
- PersonId : 931713
- IdRef : 061557080
Julien Carlier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 743879
- IdHAL : julien-carlier
- ORCID : 0000-0001-7055-0487
- IdRef : 083410015